Accéléromètres piézorésistifs MEMS à haute amplitude de chocs SMT

Les accéléromètres piézorésistifs MEMS à haute amplitude représentent la technologie de pointe de l'industrie pour les capteurs d'accélération miniatures, à haute amplitude et à réponse continue. Cette série est capable de mesurer des mouvements transitoires de longue durée ainsi que de répondre et de survivre à des temps de montée extrêmement rapides, typiques d'un choc de forte amplitude tel qu'on le trouve dans les essais d'explosifs, de pistolets et d'impacts. Des configurations conditionnées et OEM sont proposées pour répondre à une grande variété d'exigences d'installation.

L'élément de détection hermétiquement scellé est amorti par l'air avec des butées de dépassement de plage destinées à améliorer la capacité de survie. Il s'agit d'un pont de Wheatstone entièrement actif avec une résistance d'entrée élevée pour une faible consommation d'énergie. Il est micro-usiné à partir de silicium monocristallin et fabriqué à l'aide des dernières avancées en matière de techniques et d'équipements de gravure par ionisation réactive profonde (DRIE).