Accéléromètres à haute sensibilité pour la surveillance de la fabrication des semi-conducteurs

Les processus de fabrication des semi-conducteurs sont extrêmement complexes et évoluent rapidement. Alors que la demande des consommateurs pour des tailles plus petites et des capacités plus avancées ne cesse de croître, il devient de plus en plus difficile d'éviter les erreurs de fabrication à l'échelle du nanomètre. Les exigences supplémentaires en matière de débit nécessitent des machines de fabrication et d'inspection plus rapides, ce qui rend les semi-conducteurs susceptibles de subir des vibrations plus importantes au cours de la production. Ces vibrations peuvent altérer les motifs déposés sur les semi-conducteurs, ce qui entraîne des défaillances des circuits dans les pièces finies. Pour lutter contre ce problème, les accéléromètres sont utilisés dans la fabrication des semi-conducteurs pour prendre des mesures de routine des vibrations afin de contrôler en temps réel et en boucle fermée les systèmes de surveillance de l'état de santé et de contrôle des processus. Dans ce livre blanc, nous examinerons leur fonctionnement et leurs paramètres de fonctionnement de base, ainsi que la manière dont ces paramètres peuvent être réglés pour augmenter considérablement la sensibilité et mesurer les déplacements à l'échelle du nanomètre.

Table des matières :

• Introduction à la fabrication des semi-conducteurs
• Sources de vibrations
• Accéléromètres
• Comportement général
• Principales spécifications
• Options d'accéléromètres à haute sensibilité
• Mesures de déflexion au niveau du nanomètre : Jusqu'où peut-on aller ?
• Mesures multiaxiales
• Conclusions