Les accéléromètres de choc piézorésistifs, fabriqués par la technologie MEMS, ont une faible consommation d'énergie tout en fournissant une sortie pleine échelle de +/- 200 mV à des niveaux d'accélération supérieurs à 50 kg. Les accéléromètres sont électriquement compatibles avec le même type de circuit à 4 fils utilisé pour conditionner un pont complet de jauges de contrainte et, comme ils ont une sortie beaucoup plus importante que les jauges de contrainte, la nécessité d'une amplification du signal est grandement réduite. Ils offrent une plage de température de fonctionnement plus large que les accéléromètres ICP®, isolés mécaniquement. Leur réponse en fréquence, en fonction du modèle, peut être uniforme de DC (0 Hz) à des valeurs aussi élevées que 20 kHz. Pour atténuer la sévérité de la réponse lorsque leur fréquence de résonance est excitée, ils intègrent un amortissement par film de squeeze, atteignant des valeurs de 0,02 à 0,06 de la critique. Ces valeurs d'amortissement sont bien plus élevées que celles que l'on trouve dans les accéléromètres MEMS existants. Le silicium étant un matériau fragile, des butées de dépassement de plage sont également incorporées pour minimiser la rupture de l'élément de détection, puis l'élément de détection est scellé dans un emballage hermétique. À des niveaux G comparables, la technologie MEMS permet d'atteindre la plus petite taille de boîtier pour les accéléromètres individuels.