Gli accelerometri piezoresistivi per urti, prodotti con tecnologia MEMS, hanno un basso consumo energetico pur fornendo un'uscita di +/- 200 mV a fondo scala a livelli di accelerazione superiori a 50 kg. Gli accelerometri sono elettricamente compatibili con lo stesso circuito a 4 fili utilizzato per condizionare un ponte intero di estensimetri e, poiché hanno un'uscita molto più elevata rispetto agli estensimetri, il requisito di amplificazione del segnale è notevolmente ridotto. Offrono un intervallo di temperatura operativa più ampio rispetto agli accelerometri ICP® meccanicamente isolati. La loro risposta in frequenza, a seconda del modello, può essere uniforme dalla corrente continua (0 Hz) a valori fino a 20 kHz. Per ridurre la severità della risposta quando la loro frequenza di risonanza è eccitata, incorporano uno smorzamento a film comprimibile, che raggiunge valori compresi tra 0,02 e 0,06 del valore critico. Questi valori di smorzamento sono molto più elevati di quelli riscontrati negli accelerometri MEMS tradizionali. Poiché il silicio è un materiale fragile, per ridurre al minimo la rottura dell'elemento di rilevamento vengono incorporati anche dei fermi di sovraccarico, che vengono poi sigillati all'interno di un pacchetto ermetico. A livelli di G comparabili, la tecnologia MEMS consente di raggiungere le dimensioni più ridotte per i singoli accelerometri.