Accelerometri smorzati MEMS ad alta ampiezza d'urto

Gli accelerometri smorzati MEMS ad alta ampiezza rappresentano lo stato dell'arte della tecnologia industriale per sensori di accelerazione miniaturizzati, ad alta ampiezza e con risposta in corrente continua. Questa serie è in grado di misurare movimenti transitori di lunga durata, nonché di rispondere e sopravvivere a tempi di salita estremamente rapidi, tipici di un evento d'urto ad alta gravità come nei test con esplosivi, armi da fuoco e impatti. Sono disponibili sia configurazioni confezionate che OEM, per soddisfare una varietà di requisiti di installazione.

L'elemento di rilevamento, sigillato ermeticamente, è smorzato in aria con arresti oltre i limiti per migliorare la sopravvivenza ed è un ponte di Wheatstone completamente attivo con un'elevata resistenza di ingresso per un basso consumo energetico. È microlavorato da silicio a cristallo singolo e prodotto con i più recenti progressi nelle tecniche e nelle attrezzature di incisione utilizzando l'incisione ionica reattiva profonda (DRIE).