Gedämpfte MEMS-Hoch-G-Beschleunigungssensoren
Gedämpfte MEMS-Beschleunigungssensoren mit hoher Amplitude stellen den neuesten Stand der Technik für Miniatur-Beschleunigungssensoren mit hoher Amplitude und Gleichstrom-Ansprechverhalten dar. Diese Serie ist in der Lage, lang andauernde transiente Bewegungen zu messen sowie auf extrem schnelle Anstiegszeiten zu reagieren und diese zu überstehen, wie sie typischerweise bei Stößen mit hoher Beschleunigung auftreten, wie sie bei Sprengstoff-, Waffen- und Aufpralltests vorkommen. Es werden sowohl verpackte als auch OEM-Konfigurationen angeboten, um eine Vielzahl von Installationsanforderungen zu erfüllen.
Das hermetisch versiegelte Sensorelement ist luftgedämpft mit Überbereichsanschlägen, die die Überlebensfähigkeit verbessern sollen, und ist eine voll aktive Wheatstone-Brücke mit hohem Eingangswiderstand für geringen Stromverbrauch. Es wird aus einkristallinem Silizium mikrobearbeitet und mit den neuesten Ätztechniken und -geräten unter Verwendung des reaktiven Ionenätzens (DRIE) hergestellt.
Höhepunkte:
- Einachsige und triaxiale Anordnungen
- Mechanische Over-Range-Anschläge verbessern die Überlebensfähigkeit
- Leichte Dämpfung reduziert Resonanzverstärkung
- Ausgezeichnete Amplitudenlinearität
- Geringe Leistungsaufnahme
Anwendungen:
- Metall-auf-Metall-Aufprall & Pyroschock
- Datenaufzeichnungsgeräte, Penetrator- und Abschussprüfungen
- Falltests für Unterhaltungselektronik
- Prüfung von Sportartikeln und Schlagwerkzeugen
- Sprengladung und Überlebensfähigkeit von Bauwerken
- Zünder, Safe und Arm