Piëzoresistieve schokversnellingsmeters, vervaardigd met MEMS-technologie, hebben een laag stroomverbruik en leveren toch +/- 200 mV volledige schaaluitgang bij versnellingen van meer dan 50 kg. De versnellingsmeters zijn elektrisch compatibel met hetzelfde type 4-draads circuit dat wordt gebruikt om een spanningsmeter te conditioneren en aangezien ze een veel grotere output hebben dan een spanningsmeter, is de behoefte aan signaalversterking sterk verminderd. Zij bieden een groter temperatuurbereik in vergelijking met mechanisch geïsoleerde ICP® versnellingsmeters. Hun frequentierespons kan, afhankelijk van het model, uniform zijn van DC (0 Hz) tot waarden zo hoog als 20 kHz. Om de hevigheid van de respons te verminderen wanneer hun resonantiefrequentie wordt opgewekt, bevatten zij demping door middel van knijpfilm, waarbij waarden van 0,02 tot 0,06 van kritisch worden bereikt. Deze dempingswaarden zijn veel hoger dan die van oudere MEMS-versnellingsmeters. Aangezien silicium een broos materiaal is, zijn er ook stops over het bereik ingebouwd om breuk van het sensorelement te minimaliseren, en vervolgens wordt het sensorelement in een hermetische verpakking verzegeld. Bij vergelijkbare G-niveaus maakt MEMS-technologie de kleinste verpakkingsgrootte mogelijk voor individuele versnellingsmeters.