SMT oppervlakte gemonteerde MEMS schokversnellingsmeters voor hoge G

Piëzoresistieve MEMS schokversnellingsmeters met hoge amplitude vertegenwoordigen de allernieuwste industriële technologie voor miniatuur versnellingsopnemers met hoge amplitude en DC-respons. Deze serie is in staat om tijdelijke beweging van lange duur te meten en om te reageren op extreem snelle stijgtijden, typisch voor schokken met een hoge-golfsnelheid zoals gevonden in explosie-, wapen- en botsproeven. Er worden zowel verpakte als OEM-configuraties aangeboden om te voldoen aan uiteenlopende installatievereisten.

Het hermetisch afgesloten detectie-element is luchtgedempt met stops over het bereik om de overlevingskansen te verbeteren en is een volledig actieve brug van Wheatstone met een hoge ingangsweerstand voor een laag stroomverbruik. Het is micromachinaal vervaardigd uit éénkristalsilicium en geproduceerd met de nieuwste vooruitgang in etstechnieken en -apparatuur met behulp van diep reactief ionetsen (DRIE).