Zeer gevoelige versnellingsmeters voor monitoring halfgeleiderproductie

Productieprocessen voor halfgeleiders zijn uiterst complex en evolueren snel. Omdat de vraag van de consument naar kleinere afmetingen en geavanceerdere mogelijkheden blijft toenemen, wordt het steeds uitdagender om fabricagefouten op nanometerschaal te vermijden. Extra eisen voor een grotere verwerkingscapaciteit vereisen sneller bewegende productie- en inspectiemachines, waardoor halfgeleiders gevoelig zijn voor hogere trillingen tijdens de productie. Deze trillingen kunnen de op de halfgeleiders aangebrachte patronen aantasten, wat kan leiden tot circuitfouten in de afgewerkte onderdelen. Om dit tegen te gaan, worden versnellingsmeters gebruikt bij de productie van halfgeleiders om routinematig trillingen te meten voor real-time, gesloten-lus controle van gezondheidsbewakings- en procescontrolesystemen. In deze white paper bespreken we hoe ze werken en hun fundamentele werkingsparameters, samen met hoe deze parameters kunnen worden afgestemd om de gevoeligheid drastisch te verhogen en verplaatsingen op nanometerschaal te meten.

Inhoudsopgave:

• Een inleiding op de productie van halfgeleiders
• Trillingsbronnen
• Versnellingsmeters
• Algemeen gedrag
• Belangrijkste specificaties
• Opties voor zeer gevoelige versnellingsmeters
• Doorbuigingsmetingen op nanometerniveau: Hoe laag kunnen we gaan?
• Meerassige metingen
• Conclusies