Acelerómetros de Alta Sensibilidade para Monitorizar o Fabrico de Semicondutores

Os processos de fabrico de semicondutores são extremamente complexos e estão a evoluir rapidamente. À medida que a procura dos consumidores por tamanhos mais pequenos e capacidades mais avançadas continua a crescer, torna-se mais difícil evitar erros de fabrico à escala nanométrica. As exigências adicionais para um maior rendimento requerem máquinas de fabrico e inspeção mais rápidas, tornando os semicondutores susceptíveis a vibrações mais elevadas durante a produção. Estas vibrações podem corromper os padrões depositados nos semicondutores, conduzindo a falhas nos circuitos das peças acabadas. Para combater esta situação, os acelerómetros são utilizados no fabrico de semicondutores para efetuar medições de vibração de rotina para controlo em tempo real e em circuito fechado de sistemas de monitorização da saúde e de controlo de processos. Neste livro branco, discutiremos o seu funcionamento e os seus parâmetros operacionais básicos, bem como a forma como estes parâmetros podem ser ajustados para aumentar drasticamente a sensibilidade e medir deslocamentos à escala nanométrica.

Índice:

• Uma introdução ao fabrico de semicondutores
• Fontes de vibração
• Acelerómetros
• Comportamento geral
• Especificações chave
• Opções de Acelerómetros de Alta Sensibilidade
• Medições de deflexão de nível nanométrico: Até onde podemos ir?
• Medições multi-eixo
• Conclusões